真空機(jī)組真空系統(tǒng)出廠時(shí)已經(jīng)包括了抽速控制、進(jìn)氣過濾、主要運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示、運(yùn)行保護(hù)及遠(yuǎn)程控制接口等。只需要在現(xiàn)場進(jìn)行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個(gè)完整的真空系統(tǒng)。該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由先進(jìn)的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過編程后組成,以觸摸屏為人機(jī)界面,實(shí)現(xiàn)對真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報(bào)警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動(dòng)化控制。
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